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單軸傾角傳感器的原理
單軸傾角傳感器是依據加速度傳感器傾斜后的角度與重力加速度成函數關(guān)系的原理來(lái)測量?jì)A角的。加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結構。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結構，并提供一個(gè)克服加速度感應力的阻力。用包含兩個(gè)獨立的固定板和一個(gè)與運動(dòng)質(zhì)塊相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機構來(lái)測量比例于加速度的多硅結構的偏轉，從而產(chǎn)生電壓輸出信號。